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GTR+GRC

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液静压(超音波)双主轴晶圆减薄机
产品简介:

■双液静压内藏式主轴搭配3个工作转台,设备配备的3个工作台面可同时对晶圆进行减薄处理,从而大幅提升生产效率。■多工作台设计还允许用户在同一时段内处理不同材料或厚

型号:GTR(S)-2315/GTR-2386

发布时间:2025-04-28

产地:台湾

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产品介绍

双液静压内藏式主轴搭配3个工作转台,设备配备的3个工作台面可同时对晶圆进行减薄处理,从而大幅提升生产效率。

多工作台设计还允许用户在同一时段内处理不同材料或厚度,或进行粗磨、精磨等不同工艺的研磨,显著提升应用灵活性。

此设备搭载自主研发的软件应用,为用户提供更高操作自由度和便捷性。

软件通过直观界面,使操作者能轻松控制加工参数、监测进度,并实时调整参数以确保最佳效果,同时支持SECS/GEM通信协议。

设备配备高压清洗机构,可在减薄过程中自动进行高效清洗,彻底清除砂轮产生的切削碎屑和残留物。

功能包含:自动厚度测量、高压清洗排屑系统、自主研发设备软件、可视化操作界面、多场景应用扩展

可选配内藏式超声波主轴系统,该技术通过高频超声波振动,使晶圆减薄过程更稳定高效。

超声波振动技术可显著降低研磨能耗,同时缩短加工时间,减少晶圆的应力和热损伤,并降低砂轮磨损。

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